SRIM程序模拟 课件.pptVIP

Sputter yield and vacancies Sputter yield: Vacancies: * * 李伟森 2011年4月13日 SRIM程序简单简绍 SRIM程序模拟计算 Srim是一种已被广泛应用于模拟离子束与固体相互作用的程序，通过模拟跟踪入射粒子的运动，粒子位置、能量损失以及次级粒子的各种参数都在整个跟踪过程中被储存下来，最后得到各种所需物理量的期望值和相应的统计误差。入射离子与材料原子核的碰撞采用两体碰撞描述，将入射离子在基体中的运动看成是一系列与基体原子发生的独立碰撞，每一次独立的碰撞散射采用数值积分求解 固体是一个非晶靶，即原子在靶中的排列是随机的； 入射离子同固体中单个原子的相互作用被看成是一个二体碰撞过程，忽略周围原子的影响； 1、SR(Tables of Stopping and Ranges of ions in simple targets)： SR quickly creates Tables of the stopping and range of ions in matter over a wide band of ion energies. 2、 TRIM (the Transport of Ions in Matter) TRIM is a Monte