薄膜晶体管及其制作方法、显示面板及显示装置.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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薄膜晶体管及其制作方法、显示面板及显示装置.pdf

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本申请实施例公开薄膜晶体管及其制作方法、显示面板及显示装置，薄膜晶体管(10)包括依次层叠设置的第一栅极层(11)、第一绝缘层(12)、有源层(13)、第二绝缘层(14)、第二栅极层(15)、第三绝缘层(16)及漏源层(17)，以有源层(13)所在平面为投影面，第一栅极层(11)在投影面的正投影与第二栅极层(15)在投影面的正投影至少部分重合，由于第一栅极层(11)与有源层(13)之间以及第二栅极层(15)与有源层(13)之间都不构成产生寄生电容的条件，因此，其能够降低寄生电容。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113261114 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 201980073511.7 H01L 21/34 (2006.01)