一种SiF4与HF混合气体的分离方法及系统.pdfVIP

下载本文档

54
0
约1.61万字
约 11页
2023-06-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种SiF4与HF混合气体的分离方法及系统.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种SiF4与HF混合气体的分离方法及系统，是将SiF4与HF混合气体和氢气一起通入微波加热装置中，通过所述微波加热装置将四氟化硅、氟化氢和氢气的混合气体快速加热至600℃‑1200℃，生成硅和氟化氢气体；其后使生成的硅、氟化氢气体以及未反应完的四氟化硅气体和氢气共同进入气固分离装置中，将硅分离出来，剩余气体一同通入冷凝器中；氟化氢气体被冷凝为氟化氢冷凝液体进入精馏塔中进行进一步纯化得到高纯度氟化氢，未反应完的氢气和四氟化硅气体重新返回至所述微波加热装置中进行反应；本发明通过将氢气和

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113233422 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202110614281.X (56)对比文件 (22)申请日 2021.06.02