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本发明涉及用于对包括光学元件的单元阵列的被测装置执行测量的测量设备,该测量设备包括:与光学元件的单元阵列的信号端子并联连接的电容器;I/O缓冲器,其通过所述电容器的充电或放电来增加或减少所述电容器的电荷量,并且输出与根据所述电容器的一端的电压的输出逻辑值相对应的信号;用于测量到达时间的时间测量仪器,所述到达时间是所述电容器的一端的所述电压从预定的第一电压达到预定的第二电压的时间;以及处理器,其通过控制所述输入I/O缓冲器和所述时间测量仪器来测量所述到达时间,并且通过使用所述到达时间来测量与光学元
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113253082 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202011271870.4
(22)申请日 2020.11.13
(30)优先权数据
10-2020-0
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