柔性铌酸锂薄膜脑电检测芯片及装置.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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柔性铌酸锂薄膜脑电检测芯片及装置.pdf

本发明提供柔性铌酸锂薄膜脑电检测芯片及装置,该芯片包括:柔性铌酸锂基底,柔性铌酸锂基底上制作有光波导以及共面行波电极;柔性支撑层,用于为柔性铌酸锂基底提供支撑;柔性支撑层表面设置有电极,共面行波电极与该电极电连接。发明中,柔性铌酸锂基底以及柔性支撑层具有柔性,能够更好地和人脑表面贴合;柔性支撑层和人脑表面贴合,柔性支撑层的电极与人脑电接触,电极采集到脑电信号,传输到铌酸锂基底上的共面行波电极上,在共面行波电极间形成微弱的电场,引起柔性铌酸锂基底折射率发生变化,光从光波导传输经过折射率发生变化的调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113261968 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110536669.2 (22)申请日 2021.05.17 (71)申请人 派尼尔科技(天津)有限公司

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