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一种互连结构，包括一介电层、一第一导电部件、一导电层、一覆盖层、一支撑层以及一蚀刻停止层。第一导电部件设置在介电层中。导电层的第一部分是设置在第一导电部件的上方，且导电层的第二部分是设置在介电层的上方。覆盖层的第一部分与导电层的第一部分接触，覆盖层的第二部分与导电层的第二部分接触，以及覆盖层的第三部分与介电层接触。气隙是由支撑层以及覆盖层所定义。蚀刻停止层设置在导电层的第二部分、覆盖层的第二部分和支撑层的上方。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883250 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210193604.7
(22)申请日 2022.03.01
(30)优先权数据
17/217,694 2021
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