原创力文档- 15
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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明提供一种颗粒物清洁度检测方法，包括以下步骤：将浸泡液取至预设容器内；对浸泡液的颗粒物数量进行检测，并判断检测到的浸泡液的颗粒物数量是否满足预设的第一标准；若是，则采用浸泡液对待检测件进行颗粒物检测，其中，待检测件为已进行清洁处理的机械加工件。本发明提供的颗粒物清洁度检测方法，能够降低检测结果的误差，提高检测结果的准确度，从而提高检测结果的可靠性和稳定性，进而降低半导体设备的零部件对半导体工艺结果的影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113267431 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110522751.X
(22)申请日 2021.05.13
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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