上部电极和等离子体处理装置.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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上部电极和等离子体处理装置.pdf

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本发明提供抑制上部电极处的异常放电的上部电极和等离子体处理装置。所公开的上部电极在电容耦合型的等离子体处理装置中构成喷淋头。上部电极包括第一部件和第二部件。第一部件由导电体形成。第一部件提供多个第一孔。多个第一孔贯通第一部件。第二部件包含主体和覆盖层。主体由导电体形成，设置于第一部件的上方。覆盖层覆盖主体的表面。第二部件提供一个以上的第二孔。覆盖层的二次电子发射系数小于1。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116264146 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202211533366.6 (22)申请日 2022.12.02 (30)优先权数据 2021-201526 202