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光学位置测量装置.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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光学位置测量装置.pdf

    本发明涉及用于检测两个标尺的相对位置的光学位置测量装置，标尺能相对彼此沿多个测量方向移动并且在不同平面中并且彼此交叉地布置。两个标尺分别具有测量分度。标尺的纵向延伸方向平行于第一和第二测量方向定向。第三测量方向垂直于第一和第二测量方向。在第一标尺处将由光源发射的照明射束分离成至少两个分射束。分射束随后加载相对于水平的移动平面围绕其纵向延伸方向倾斜地布置的第二标尺，分射束在第二标尺处经历沿第一标尺的方向的向回反射。然后分射束重新射到第一标尺上并且再次组合，随后产生的信号射束沿探测单元的方向传播。经

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113280731 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110188301.1 (22)申请日 2021.02.18 (30)优先权数据 102020202

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