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一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法.pdf

    本发明提供了一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法，包括以下步骤：S1、确定层析显微光路系统中待校正的像差；S2、根据待校正的像差的分布，利用第一曝光点和第二曝光点的坐标确定二次相位离轴菲涅尔波带片的栅线分布。本发明提供的二次相位离轴菲涅尔波带片能够同时实现层析及系统像差校正，提高系统成像质量、降低系统复杂程度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113267889 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110638324.8 (22)申请日 2021.06.08 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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