半导体存储器件.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种半导体存储器件包括:第一堆叠结构,包括第一阶梯部分;第二堆叠结构,在第一堆叠结构上并包括与第一阶梯部分重叠的第二阶梯部分;第一接触插塞,穿透第一堆叠结构和第二堆叠结构、电连接到第一堆叠结构并且不电连接到第二堆叠结构;以及第二接触插塞,穿透第一堆叠结构和第二堆叠结构、电连接到第二堆叠结构并且不电连接到第一堆叠结构。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113921529 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202110776606.4 (22)申请日 2021.07.09 (30)优先权数据 10-2020-0

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