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一种基于钎焊方式的靶材绑定方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种基于钎焊方式的靶材绑定方法.pdf

    本发明公开了一种基于钎焊方式的靶材绑定方法，包括如下步骤：(1)对靶材和背板的绑定面进行机加工，使绑定面的平面度≤0.1μm、以及粗糙度≤Ra2μm；(2)对靶材和背板进行酸洗，酸洗后绑定面的粗糙度为Ra2.8～3.2μm；(3)使用PVD磁控溅射方式在靶材和背板的绑定面上进行镀银处理；(4)使用熔融的SnAg合金对靶材和背板的绑定面进行浸润涂布；(5)将靶材和背板放入真空钎焊炉内，在靶材和背板的绑定面之间夹置SnCu合金箔片，然后在靶材上放置重物以施加压力，炉内抽真空至真空度≤6×10e‑

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113275684 B (45)授权公告日 2022.07.15 (21)申请号 202110493339.X B23K 1/20 (2006.01) (22)申请日 2021.05.

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