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一种用于控制抛光压力的承载头及其使用方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种用于控制抛光压力的承载头及其使用方法.pdf

    本发明提供了一种用于控制抛光压力的承载头及其使用方法，包含：基座组件及与所述基座组件配合的压力控制组件。所述基座组件包含：上承载体和下承载体，其中所述上承载体被固定至可旋转的驱动轴，使整个承载头旋转，所述下承载体可竖直移动，以向下施加载荷；所述压力控制组件包含：支撑膜、与支撑膜同心配合的含磁性粒子的智能材料模块及电磁体，其中当存在外加磁场时，该智能材料模块的弹性模量以及硬度会发生改变；通过控制磁场强度，可使智能材料模块产生期望的硬度变化；通过各组件的配合，可以实现晶圆中心到边缘的抛光压力控制，故

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113263438 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110551366.8 (22)申请日 2021.05.20 (71)申请人 湘潭大学 地址 41

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