一种叉指型导模光电探测器.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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本申请实施例提供一种叉指型导模光电探测器。其中,探测器包括光波导结构,包括芯层和包裹芯层的包层,芯层延第一方向延伸预设距离,芯层的第一端用于接收目标入射光;多个P型欧姆接触区和多个N型欧姆接触区,为芯层顶部的掺杂部分,均沿垂直于第一方向的第二方向延伸,且沿第一方向交替排列;以及,P型和N型电极,沿第一方向延伸;P型电极设有并列的多个第一枝节,每一个第一枝节与一个P型欧姆接触区贴合;N型电极设有并列的多个第二枝节,每一个第二枝节与一个N型欧姆接触区贴合。通过本方案可以解决现有光电探测器对波长接近光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113284963 B (45)授权公告日 2021.12.03 (21)申请号 202110438832.1 H01L 31/09 (2006.01)

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