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- 2023-06-17 发布于四川
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本申请涉及衬底运输设备。一种运输设备，其包括框架；连接到所述框架的驱动部段，所述驱动部段具有至少一个驱动轴线；至少一个臂，其具有构造成用于保持衬底的端部执行器，所述至少一个臂通过传动连杆连接到所述驱动部段并且具有实现所述端部执行器相对于所述至少一个臂延伸和缩回的至少一个自由度轴线；以及连接到所述框架和所述端部执行器的轴承，所述轴承限定导轨，所述导轨限定所述至少一个自由度轴线。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270350 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110464317.0
(22)申请日 2015.01.16
(30)优先权数据
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