溅射靶制品以及溅射靶制品的再生品的制造方法.pdfVIP

溅射靶制品以及溅射靶制品的再生品的制造方法.pdf

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本发明提供一种可降低成本的溅射靶制品。所述溅射靶制品，包括：靶，背板或背管，嵌件材料的层，所述靶的非溅射面侧的至少一部分轮廓化为具有面对称状的凹凸部，所述嵌件材料的层形成为紧贴所述轮廓化的表面，所述嵌件材料，由比重至少比构成靶的金属更轻的金属形成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113272468 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202080008598.2 (74)专利代理机构北京伟思知识产权代理事务

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