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一种镀覆膜包括：支撑结构，从喷嘴沿径向向外延伸，喷嘴用于朝晶片引导镀覆溶液的流。镀覆膜还包括：框架，由支撑结构支撑，具有从喷嘴向外成斜角的内壁。内壁相对于喷嘴的向外角度以如下方式引导来自喷嘴的镀覆溶液的流：增大朝晶片的镀覆溶液的流的均匀性；减少朝镀覆膜的中心向内重新引导的镀覆溶液的量；减少晶片的沟槽(例如，高纵横比沟槽)中的镀覆材料空隙；和/或类似方式。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113265688 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202010965920.2 C25D 17/00 (2006.01)
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