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调谐共振器的方法、形成共振器的空腔的方法及滤波器.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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调谐共振器的方法、形成共振器的空腔的方法及滤波器.pdf

    本发明涉及一种调谐共振器的方法、形成共振器的空腔的方法及滤波器，形成体声波共振器的空腔的方法，包括以下步骤：形成一牺牲磊晶结构台面于一化合物半导体基板之上；形成一绝缘层于牺牲磊晶结构台面以及化合物半导体基板之上；以一化学机械平坦化制程研磨绝缘层以形成一抛光表面；形成一体声波共振结构于抛光表面之上，其中体声波共振结构位于牺牲磊晶结构台面之上，其中包括以下步骤：形成一底电极层于抛光表面之上；形成一压电层于底电极层之上；以及形成一顶电极层于压电层之上；以及蚀刻牺牲磊晶结构台面以形成一空腔，其中空腔位于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114430259 A (43)申请公布日 2022.05.03 (21)申请号 202210109109.3 H03H 3/02 (2006.01)

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