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一种新型氮氧传感器陶瓷芯片.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种新型氮氧传感器陶瓷芯片.pdf

    本发明提供一种新型氮氧传感器陶瓷芯片，涉及传感器技术领域。该氮氧传感器陶瓷芯片包括从上至下依次层叠的第一至第六氧化锆陶瓷层，在第二氧化锆陶瓷层内设置有主泵腔室、辅泵腔室和测量泵腔室，主泵腔室与氮氧传感器陶瓷芯片外部之间通过第一扩散通道连通，主泵腔室与辅泵腔室通过第二扩散通道连通，辅泵腔室与测量泵腔室之间通过第三扩散通道连通，第一扩散通道、第二扩散通道以及第三扩散通道均为孔式进气扩散通道结构。通过采用孔式进气扩散通道结构，有效防止克努森扩散、积碳堵塞以及进气通道微开裂引起的传感器失效问题，降低了氮

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113267552 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110529535.8 (22)申请日 2021.05.14 (71)申请人 高鑫环保科技（苏州）有限公司

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