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- 2023-06-17 发布于四川
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一种半导体器件，包括：下电路图案，位于下基板上；下接合图案，位于下电路图案上，所述下接合图案包括导电材料并电连接到下电路图案；上接合图案，位于下接合图案上并接触下接合图案，并且包括导电材料；无源器件，位于上接合图案上，并且包括导电材料且接触上接合图案中的一个；栅电极结构，位于无源器件上，包括在第一方向上彼此间隔开的栅电极，每个栅电极在第二方向上延伸，并且栅电极在第二方向上的延伸长度以阶梯方式从最下层级向最上层级增加；通道，延伸穿过栅电极结构的至少一部分；以及上基板，位于通道上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114446983 A
(43)申请公布日 2022.05.06
(21)申请号 202111083772.2 H01L 27/11575 (2017.01)
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