真空的获得与测量.pdf

====Word 行业资料分享--可编辑版本--双击可删==== 真空的获得与测量 一．目的要求 １．了解真空获得与测量的方法原理。 ２．熟悉高真空机组和复合真空计的结构组成，掌握它们的性能及操作方法。 ３．了解抽气过程中真空容器内压强随抽气时间的变化。 ４．学会用高频火花探漏器检漏，并进行预真空的粗略估计。 二．引言 低于一个大气压的气体存在状态称为真空状态，真空程度简称真空度。某空间真空度愈 高，意味着其间