1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种微米级矩形波导的制备方法及系统.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.08万字
  • 约 10页
  • 2023-06-19 发布于四川
  • 举报

一种微米级矩形波导的制备方法及系统.pdf

    本发明提供了一种微米级矩形波导的制备方法及系统，保持待加工品与水平方向呈倾斜放置，且倾斜方向与金刚石刀片刀刃第一侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第一划槽；将待加工品旋转，使其与水平方向呈倾斜放置，且放置方向与金刚石刀片刀刃第二侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第二划槽，实现两条划槽中间的预留位置形成矩形波导。本发明不需要将微米级铌酸锂薄膜层切透，从而得到侧壁光滑，易加工的矩形波导。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113285201 B (45)授权公告日 2022.02.15 (21)申请号 202110601433.2 (56)对比文件 (22)申请日 2021.05.31

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >