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2023-06-20 发布于四川
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一种基于体振动的翻转倾斜检测结构.pdf

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本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构，包括固定基底；锚点结构，锚点结构叠设于固定基底并与固定基底连接；振动结构，振动结构呈环状，振动结构与锚点结构形成机械耦合，并与固定基底间隔；面内换能器，沿该检测结构的中心圆周分布在最外侧，每个面内换能器均与固定基底连接，且相邻两个面内换能器之间间隔设置；面外换能器，沿该检测结构的中心圆周分布于振动结构与固定基底之间，每个面外换能器均与固定基底连接，且与振动结构间隔设置，相邻两个面外换能器之间间隔设置；该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113324519 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110476481.3 (22)申请日 2021.04.29 (71)申请人瑞声开泰科技(武汉)有限公司

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