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ITO靶材的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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ITO靶材的制备方法.pdf

    本发明涉及一种ITO靶材的制备方法，该方法收集在造粉步骤之后，未经成型烧结的粒径不符合生产要求的ITO复合粉体进行回收制备步骤，使用特定的温度进行煅烧，就能在避免晶向定型的情况下，去除ITO复合粉体内的有机物杂质，使ITO复合粉体还原分散成小颗粒的氧化铟和氧化锡混合粉末，再重新执行造粉步骤就能得到粒径符合生产要求的ITO复合粉体，由此得到的ITO复合粉体不易发生团聚，能避免成型压制生坯的过程中出现较多气孔，制备得到的ITO靶材烧结密度高。本发明提供的ITO靶材的制备方法工艺简单，且回收制备步骤中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113321490 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110704806.9 C23C 14/35 (2006.01) (22)申请日 2

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