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动态随机存取存储器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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动态随机存取存储器及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种动态随机存取存储器，包括一衬底，复数个第一有源区域设置在该衬底上，沿着一第一方向端部对端部排列并且沿着一第二方向互相平行，其中该第一方向垂直于该第二方向。复数个第二有源区域设置在该第一有源区域之间并且沿着该第一方向端部对端部排列，其中该第二有源区域各自包括邻近该第二有源区域与该第一有源区域之间的一第一沟槽的一第一侧壁以及邻近该第一有源区域的端部之间的一第二沟槽的一第二侧壁，其中于沿着该第二方向的一剖面图中，该第一侧壁的一第一倾角大于该第二侧壁的一第二倾角。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113327926 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110587180.8 (22)申请日 2021.05.27 (71)申请人 福建省晋华集成电路有限公司

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