JJF(津)11-2020气敏传感器测试仪校准规范.pdfVIP

天津市地方计量技术规范 JJF(津)11—2020 气敏传感器测试仪校准规范 Calibration Specification for Gas Sensor Tester 2020―09―28 发布 2020―10―20 实施 天津市市场监督管理委员会 发 布 JJF （津）11—2020 气敏传感器测试仪校准规范 1 范围 本规范适用于电阻型半导体气敏传感器测试仪的校准。 2 概述 气敏传感器测试仪（以下简称 “仪器”）主要用于测试半导体气敏传感器的性能， 如进行灵敏度分析、选择性分析等。仪器主要由气室、测量系统、数据采集与传输系统 等组成。 3 计量特性 3.1 电流输出误差 不超过±2mA 。 3.2 电压输出误差 不超过±0.05V 。 3.3 电阻测量误差 不超过读数的±0.5% 。 注：以上指标不用于合格性判别，仅做参考。 4 校准条件 4.1 环境条件 4.1.1 环境温度： （15～35 ）℃，校准过程中温度变化不超过±2℃。 4.1.2 相对湿度：≤75% 。 4.1.3 供电电源：交流 （220 ±22 ）V ，（50 ±0.5 ）Hz 。 4.1.4 无明显机械振动，无电磁干扰，避免阳光直射被校准仪器。 4.2 测量标准 4.2.1 数字多用表 最小分辨力：电流≤0.001mA, 电压≤0.001mV 。 最大允许误差：电流±0.01mA ，电压±0.01mV 。 4.2.2 电阻箱：0.05 级。 5 校准项目和校准方法 5.1 校准点的选择 一般根据用户的需要选择校准点。如无特殊要求，则在量程范围内均匀选择6 个 校准点。 5.2 电流输出误差或电压输出误差 1 JJF （津）11—2020 仪器按使用说明书的要求通电预热稳定后，按图1 连接数字多用表与仪器。根据校 准点调节仪器的输出值，记录数字多用表的示值，重复测量 3 次，按式（1）计算电流 输出误差或电压输出误差。 DA A =- A （1） x 式中： DA —— 电流输出误差或电压输出误差，mA 或V ； A ——仪器的电流或电压输出值，mA 或V ； x A ——数字多用表3 次测量结果的算术平均值，mA 或V 。 仪 器 数字多用表 图1 仪器电流输出误差校准连接图 5.3 电阻测量误差 仪器按使用说明书的要求通电预热稳定后，按图2 连接电阻箱与仪器。根据校准点 调节电阻箱的输出电阻值，记录仪器的测量值，重复测量 3 次，取算术平均值作为仪 器的示值，按式（2 ）计算电阻示值误差。 R -R DR x 0 =´100% （2 ） R 0 式中： DR —— 电阻测量误差； R0 —— 电阻箱的输出电阻值，kΩ； R ——仪器的示值，kΩ。 x 仪 器