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一种基于反射式倾斜光纤光栅探针的生化传感器的制作工艺，包括以下步骤：步骤1、利用相位掩模板法在单模光纤上刻写长度为1厘米、角度为10o的TFBG，并利用高精度光纤切刀切掉TFBG任意一端距其1厘米以外的尾纤；步骤2、将步骤1）制作的TFBG探针浸入浓硫酸1小时后用去离子水和甲醇冲洗；步骤3、将步骤2）中冲洗好后的TFBG探针浸入含有1%三甲氧基硅烷的甲醇溶液30分钟后用去离子水和甲醇冲洗，完成探针修饰；步骤4、利用步进电机夹持由步骤3修饰后的TFBG探针的一端，并在探针尾纤的端面上通过提拉法蘸取
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113340854 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110629601.9
(22)申请日 2021.06.07
(71)申请人 西安石油大学
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