- 1、本文档共57页,其中可免费阅读56页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
提供半导体形成工序中使用的半导体晶圆用的处理液等。提供一种处理液等,其含有:(A)次氯酸根离子、(B)下述式(1)所示的烷基铵盐。(式中,a为6~20的整数,R1、R2、R3独立地例如为碳数1~20的烷基。X‑例如为氯化物离子。)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113383408 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202080012317.0 (72)发明人 吉川由树 佐藤伴光 下田享史
您可能关注的文档
- 用于对外部装置无线充电的电子装置.pdf
- 异种金属焊接方法.pdf
- 具有磨损开口的密封环.pdf
- 开放式网眼纱罗织物、由其制成的袋及纱罗织物的制法.pdf
- 用于监测麻醉气化器系统中气化器贮存器的填充状态的系统和方法.pdf
- 使用合并模式运动向量候选对象的改善的帧内平面预测.pdf
- 实时通信的设备增强.pdf
- 印刷配线板.pdf
- 半导体元件、半导体装置以及二者的制造方法.pdf
- 肋安装组件.pdf
- 教科版(2017秋)科学二年级上册2.6 做一顶帽子 教学设计.docx
- 河北高频考点专训四 质量守恒定律的应用教学设计---2024-2025学年九年级化学人教版(2024)上册.docx
- 大单元教学【核心素养目标】6.3 24时计时法教学设计 人教版三年级下册.docx
- 河南省商城县李集中学2023-2024学年下学期九年级历史中考模拟八(讲评教学设计).docx
- 第18章 第25课时 正方形的性质2023-2024学年八年级下册数学课时分层作业教学设计( 人教版).docx
- Module 8 模块测试 教学设计 2024-2025学年英语外研版八年级上册.docx
- 2024-2025学年小学数学五年级下册浙教版教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学劳动四年级下册人民版《劳动》(2022)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学数学三年级上册冀教版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年高中生物学必修1《分子与细胞》人教版教学设计合集.docx
文档评论(0)