基于空间规律掺杂且兼容传统光学薄膜的无刻蚀超构表面.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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基于空间规律掺杂且兼容传统光学薄膜的无刻蚀超构表面.pdf

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本发明公开了基于空间规律掺杂且兼容传统光学薄膜的无刻蚀超构表面，所述掺杂超表面由若干掺杂区域中的单元排列形成；其中，通过在半导体薄膜材料的特定区域进行掺杂，掺杂区域单元的介电函数被改变，从而实现对电磁波的偏振、传播模式以及相位等的高效调控，称之为掺杂超构表面。本发明的有益效果在于，相对于传统的超构表面来说，这种掺杂超构表面具有其自身独特的优势：由于没有刻蚀微纳结构，其表面光滑平整度高，可以允许在其上进一步镀制光学增透膜等其他功能性光学薄膜而不改变其超构表面的光学性质。换言之，掺杂超构表面在实现一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113376712 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110654248.X (22)申请日 2021.06.11 (71)申请人中山大学地址 51

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