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本发明关于多带电粒子束描绘装置及多带电粒子束描绘方法。本发明的一形态的多带电粒子束描绘装置具备:可移动的台,供基板配置;发射数据生成部,生成多带电粒子束的各发射的发射数据;移位量计算部,至少基于与第k+1次(k是自然数)以后所照射的多带电粒子束的发射有关的参数,计算用于将第k次的发射的多带电粒子束整体一起进行位置修正的移位量;以及描绘机构,具有将多带电粒子束偏转的偏转器,上述描绘机构一边根据该移位量将第k次的发射的多带电粒子束整体通过一起偏转而移位,一边使用多带电粒子束对基板进行上述第k次的发射
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113341655 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110185082.1
(22)申请日 2021.02.10
(30)优先权数据
2020-0253
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