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本发明提供一种能以简易的构成降低蚀刻不良的产生率的技术。本发明的基板处理方法具备基板保持工序、带电工序、及蚀刻液供给工序。在基板保持工序中，通过基板保持部保持基板。在带电工序中，使基板绕通过该基板的中央部的旋转轴线旋转，将纯水与添加气体以能使该基板的第1主面的整面带正电的第1混合浓度混合所得的第1混合液供给至该基板，以使该基板带电。在蚀刻液供给工序中，在带电工序之后或与带电工序并行，使该基板绕旋转轴线旋转，对该基板的第1主面供给蚀刻液。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113366615 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202080010595.2 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司
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