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本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种参数激励与同步共振协同调控的高分辨率传感器及方法;其中参激梁和同步梁固定在基座上,且参激梁和同步梁之间通过耦合单元连接;参激梁两端设有第一激励单元和第一检测单元,且其上表面沉积有敏感层,敏感层前端的参激梁上设有参激单元,同步梁两端设有第二激励单元和第二检测单元;本方法首次提出了参数激励和同步共振协同调控传感的新思想,利用参激振动提高参激梁的振动幅值,并利用同步共振抑制同步梁的相位噪声。本发明设计了双端固支耦合梁传感结构,利用同步共振作用下参激振动的振幅跃变特
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113340986 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110665132.6
(22)申请日 2021.06.16
(71)申请人 吉林大学
地址 13
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