第四章扫描电子显微镜及电子探针.pptVIP

六.背散射电子衬度原理及其应用 在进行分析时，样品上原子序数较高的区域中由于收集背散射电子数量较多，故荧光屏上的图象较亮。 利用原子序数造成的衬度变化可材料进行定性的成分分析。样品中重元素区域相对于图象上是亮区．而轻元素则为暗区。 当然，在进行精度稍高的分析时，必须事先对亮区进行标定，才能获得满结果。 为了避免形貌衬度对原子序数衬度的干扰，被分析的样品只进行抛光，而不必腐蚀。 当前第62页\共有87页\编于星期六\9点 六.背散射电子衬度原理及其应用 背散射电子形貌分析效果分辨率远低于二次电子，在没有特殊要求的前提下，都优先选用二次电子形貌像。 2.背散射电子形貌衬度特点 原因：a.背散射电子作用体积大；b.直线轨迹 逸 出 ，背向检测器的信号收集不到，细节层次减少。 当前第63页\共有87页\编于星期六\9点 SEM Compositional image Backscattered SEM image of an PbSn alloy showing contrast based on the atomic number. The brighter areas are Pb-rich. 当