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本发明公开了一种准分子灯及其光源装置，包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，所述的准分子放电管由准分子放电内管、准分子放电外管和放电空间组成，准分子放电外管内设有放电空间，放电空间内设有准分子放电内管，准分子放电内管贯穿准分子放电外管的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管；准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条、金属柔性网罩、阳极金属电极棒和箍头组成，本发明比粗的准分子灯组成的面光源的均匀性好，使用范围更广，能量效率更高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113421818 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110840098.1
(22)申请日 2021.07.24
(71)申请人 上海国达特殊光源有限公司
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