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扫描电子显微镜及电子探针;第三章 扫 描 电 子显 微 镜;　　扫描电子显微镜应用：形貌、微区分析（？？）和晶体结构等多种分析。; 多相合金扩散偶的相鉴定(EDAX-TSL数据); 多相合金扩散偶的相鉴定(EDAX-TSL数据); 多相合金扩散偶的相鉴定(EDAX-TSL数据);立方取向亚晶;;特点： ;分辨率： ;And now a look inside the SEM….;High Resolution Field Emission SEM;一、电子束和固体样品作用时产生的信号;电子束和固体样品作用时产生的信号;Interaction Volume and signal generation;第十六页，共三十八页，2022年，8月28日;1．背散射电子 背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90o的那些入射电子，其能量没有损失(或基本上没有损失)。由于入射电子的能量很高，所以弹性背散射电子的能量能达到数千到数万电子伏。 非弹性背散射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹性散射，不仅方向改变，能量也有不同程度的损失。;如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形成非弹性背散射电子。非弹性背散射电子的能量分布范围很宽，从数十电子伏特直到数千电子伏特。 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。 背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围。由于它的产额能随原子序数增大而增多，所以不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。;如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形成非弹性背散射电子。非弹性背散射电子的能量分布范围很宽，从数十电子伏特直到数千电子伏特。 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。 背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围。由于它的产额能随原子序数增大而增多，所以不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。;2．二次电子 在入射电子作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子叫做二次电子。这是一种真空中的自由电子。 因原子核和外层价电子间的结合能很小，因此外层的???子-比较容易和原子脱离，使原子电离。一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生许多自由电子，其中90％是来自外层的价电子。 二次电子的能量较低，一般都不超过8×10-19J(50eV)。大多数二次电子只带有几个电子伏的能量。 在用二次电子收集器收集二次电子时，往往也会把极少量低能量的非弹性背散射电子一起收集进去。事实上这两者是无法区分的。;二次电子一般都是在表层5～l0nm深度范围内发射出来的，它对样品的表面状态十分敏感。因此，能非常有效地显示样品的表面形貌。二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系，所以不能用它来进行成分分析。 3．吸收电子 入射电子进入样品后，经多次非弹性散射能量损失殆尽(假定样品有足够的厚度没有透射电子产生)，最后被样品吸收。 　　假定入射电子流强度为Io，背散射电子流强度为Ib 二次电子流强度为Is ，则吸收电子产生的电流强度Ia,,　则 　　Ia= Io - Ib -Is;入射电子‘束和样品作用后，若逸出表面的背散射电子和二次电子数量愈少，则吸收电子信号强度愈大。 若把吸收电子信号调制成图象，则它的衬度恰好和二次电子或背散射电子信号调制的图象衬度相反 。 吸收电子能产生原子序数衬度，同样也可以用来进行定性的微区成分分析。 原因： 入射电子束射入一个多元素的样品中去时，由于不同原子序数部位的二次电子产额基本上是相同的，则产生背散射电子较多的部位(原子序数大)其吸收电子的数量就较少，反之亦然。;4．透射电子 是指采用扫描透射操作方式对薄样品成象和微区成分分析时形成的透射电子。 透射电子是由直径很小(10nm)的高能电子束照射薄样品微区时产生的，因此，透射电子信号是由微区的厚度、成分和晶体结构来决定。 透射电子中除了有能量和入射电子相当的弹性散射电子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子，其中有些遭受特征能量损失△E的非弹性散射电子(即特征能量损失电子)是和分析区域的成分有关，因此，可以利用特征能量损失电子配合电子能量分析器来进行微区成分分析。;5．特征X射线 当内层的电子被激发或电离时。原子就会处于能量较高的激发状态。此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使原子的能量降低。 　　如果原子的一个K层电子受入射电子轰击而跑出原子核的作用范围，则该原子就处于K激发状态，具有能量EK。 　　当一个L2层的原子填补K层的空缺后，原子的能量将从EK 降至EL2，则△E=EK-EL2的能量被释放出来