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本发明涉及含氧高纯三甲基铝的制备装置及方法，含氧惰性气体储罐通过管路连接加氧反应容器，加氧反应容器、高纯三甲基铝产品储罐和含氧三甲基铝储罐分别通过支管路分别连接氮气管路、尾气管路、真空管路以及物料管路，各支管路上均安装有阀门；真空泵通过管路连接尾气吸收罐，尾气吸收罐通过支管路分别连接尾气管路、真空管路以及物料管路，各支管路上均安装有阀门。通过氮气将高纯三甲基铝产品储罐中的高纯三甲基铝经过物料管路压入加氧反应容器中，向加氧反应容器通入含氧惰性气体，通过控制接触反应时长、气体流速进行加氧反应，获得稳
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113368797 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110794516.8
(22)申请日 2021.07.14
(71)申请人 江苏
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