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- 2023-06-23 发布于四川
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本发明公开了一种高纯碲化镓多晶合成生产装置，具体涉及半导体材料制备技术领域，包括生产底座，所述生产底座上表面的四角处均固定连接有固定支架，且四个固定支架的相对面通过销轴分别与四个限位框架相远离的一面固定连接，且四个限位框架相对面的一端通过销轴与同一个石英帽的外表面活动连接，所述石英帽的下表面设置有密封圈。本发明通过设置限位框架、石英管、石英帽和滑轮，由于限位套固定在石英帽的表面，使得移动石英帽的过程中，石英帽不易出现脱落的情况，且工作人员可以方便的对石英帽进行安装和拆卸，使得工作人员无需反复切割
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113481604 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202110777597.0 C30B 28/12 (2006.01)
(22)申请日 2021.07
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