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本发明涉及一种半导体结构的制备方法,提供衬底;于衬底上形成至少一对第一侧壁;采用原位水汽氧化工艺于第一侧壁的两侧侧壁形成第二侧壁,并于各对中的两第一侧壁之间的衬底上形成栅氧化层;于栅氧化层的表面形成栅极层。由于第二侧壁通过原位水汽氧化形成,因此第二侧壁的击穿电压更高且第二侧壁内产生的缺陷更少,且第一侧壁的两侧均形成有第二侧壁,一方面提高了第一侧壁与第二侧壁降低栅极漏电流的能力,另一方面,第一侧壁两侧均形成有第二侧壁使得第一侧壁两侧第二侧壁在厚度上可以降低,从而减小了第二侧壁中出现缺陷的可能性,从
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113471285 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202010238785.1 H01L 29/423 (2006.01)
(22)申请日 2020.0
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