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本发明公开一种晶圆片激光打标方法,其包括如下步骤:S100、将粘固在膜上的晶圆片置于可运动的打标平台,完成装片;S200、识别晶圆片的多个特征点;S300、沿晶圆片的切割道将晶圆片划分多个打标区域,每个打标区域包含至少一个特征点;S400、对晶圆片检测定位,从而获取其中一个打标区域中的每个特征点相对激光束的位置偏差值;根据特征点的位置偏差值,对包含该特征点且未打标的打标区域进行位置调整;S500、获取晶圆片的mapping图,并根据mapping图对该打标区域进行激光打标;S600、返回步骤S4
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113441842 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202111017747.4
(22)申请日 2021.09.01
(71)申请人 佛山市联动科技股份有限公司
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