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本发明公开了一种基于流化床和化学气相沉积技术的粉体颗粒包覆设备，包括：加热炉；流化管，流化管安装于所述加热炉的炉腔内，流化管由下至上间隔设置有下盖板、一级流化床、二级流化床和上盖板，下盖板与一级流化床之间具有流化气腔，一级流化床与所述二级流化床之间具有一级流化腔，所述二级流化床与所述上盖板之间具有二级流化腔；流化气体源通过所述流化气体管道与所述流化气腔相连通，所述第一前驱体管道将第一前驱体通入所述一级流化腔；第二前驱体管道将第二前驱体通入所述二级流化腔；尾气管道的一端与所述二级流化腔相连通，其另
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113564561 B
(45)授权公告日 2022.05.06
(21)申请号 202010357123.6 C23C 16/54 (2006.01)
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