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一种金属电极的转移方法.pdfVIP

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  • 2023-06-26 发布于四川
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一种金属电极的转移方法.pdf

    本发明涉及一种金属电极的转移方法，该方法包括：在聚二甲基硅氧烷薄膜上沉积金属电极，利用柔性黏附层将聚二甲基硅氧烷薄膜上的金属电极粘起并贴合至目标衬底上，去除柔性黏附层，即可完成金属电极的转移。由于聚二甲基硅氧烷薄膜的表面能低、粘附性弱，因此金属电极可以完全被柔性黏附层粘附，不会在聚二甲基硅氧烷薄膜上残留，保证了金属电极转移的完整性，提高了良率，同时由于聚二甲基硅氧烷材料价格低，因此降低了转移成本，从而实现同时兼顾高良率和低转移成本。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116313762 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310304066.9 (22)申请日 2023.03.24 (71)申请人 中国科学技术大学 地址 2300

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