一种光学平面平行度及微小位移测量系统.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种光学平面平行度及微小位移测量系统.pdf

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本发明提供一种光学平面平行度及微小位移测量系统，光学微小位移测量系统包括第一壳体、光源组件、第一反射组件和投射壁S1；第一反射组件包括一光学反射体，光学反射体包括一反射表面；光学反射体包括固定端部和自由端部；光学反射体的自由端部相对于固定端部位置改变时，线光源入射平面与反射平面相交位置的夹角相应改变；第一壳体上设置有投射壁S1，线光源经反射表面反射后射向投射壁S1相交并形成可视相交线。光学平面检测系统在光学微小位移检测系统的基础上，光源组件设置两组线光源，分别靠近所述第一壳体的四个侧面中的两个设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113566746 B (45)授权公告日 2021.12.17 (21)申请号 202111130992.6 G01B 11/02 (2006.01) (22)申请日