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- 2023-06-26 发布于四川
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一种双极性石墨烯纳米带场效应晶体管的制备方法，包括以下步骤：(1)对衬底处理；(2)Gars沟道层制备，使用浸涂法沉积，以减少溶液中导电杂质的影响；(3)器件退火，以填补含氧基团缺陷，去除导电杂质的影响；(4)使用金属掩膜制备源漏电极，改善电极与沟道层接触造成的肖特基势垒的问题，并且使用电子束蒸发进行源漏极电极沉积；(5)化学掺杂乙醇胺，确保了器件测试的可重复性。本发明操作简单，提高了器件的均一性和稳定性。避免了光刻掩膜工艺残留下的光刻胶导致的器件良品率不高的问题，可重复性高，器件性能稳定且易于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116322249 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310304609.7
(22)申请日 2023.03.23
(71)申请人 山东大学
地址 250100 山
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