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JJF 中华人民共和国国家计量技术规范 JJF XXXX-XXXX 计量型扫描探针法栅格间距校准规范 Calibration Specification for Micro-/Nano- pitch standard （征求意见稿） 20XX-XX-XX 发布 20XX-XX-XX 实施 国家市场监督管理总局发布 计量型扫描探针法栅格间距校准规范 1 范围 本规范适用于栅格间隔不大于100μm 的栅格间距标准样板，如：单一间距、规则 形状阵列和特殊排列的间距结构的首次校准、后续校准和使用中检查。 2 引用文件 本规范引用下列文件： GB/T 39516—2020 微纳米标准样板（几何量） ISO 18115-2:2013 表面化学分析 词汇 第2部分：扫描探针显微