光刻机超纯水供液装置自动控制系统研制.pdfVIP

致谢 本课题是在我的导师傅新教授和陈文昱老师的悉心指导和亲切关怀下下完成的， 论文凝聚了导师的智慧和心血。经过两年多的努力，终于完成了光刻机供液装置自动 控制系统第一代的研制。从对该课题研究内容的调研到具体工作的开展进行，以及最 后论文的最终完稿，都离不开老师和师兄师姐师弟师妹们对我的帮助。在攻读硕士两 年多的时间里，我已在相关研究课题的认知程度和科研能力上取得了一定的进步。至 此论文完成之际，谨向我的导师表示崇高的敬意和衷心的感谢!在实验室工作学习期 间，我从导师以及课题组成员身上学到了很多知识，这一切都将使我受益终生。 在此，首先对我的恩师一一傅新教授、阮晓东教授、邹俊副教授、刘伟庭副教授， 陈文昱老师、胡亮老师，致以诚挚的敬意和感谢。是他们在我生活工作中，不断地给 我指导和谆谆教诲，给我帮助，给我精神上的安慰和心灵上的指导，使我在迷茫时、 在痛苦失落时，不失勇气，不断锐意进取。 感谢Ic光刻组的所有成员们，感谢陪我度过了两年多愉快的生活。感谢水系统 小组的姚晓阳、杜凌云，是我们团队一起努力、一起拼搏才能让我的课题和论文得以 顺利完成。这份真挚的友谊将一生难忘。感谢王利军师兄，在研究生一年级开学前暑 假来实验室，接待我住在你们寝室，在我融入课题组时给了我很