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一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统.pdf

    本发明涉及超纯水净化技术领域，公开一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统，该光刻机近端超纯水深度纯化装置包括:供水管路、回流管路、脱气组件、错流式微型过滤器和光刻机进液管路，所述供水管路的出水口与所述第一脱气组件的进水口连通，所述第一脱气组件的出水口与所述错流式微型过滤器的进水口连通，所述错流式微型过滤器的回水口与所述回流管路的进水口连通，所述错流式微型过滤器的透过水口与所述光刻机进液管路连通，第二脱气组件在回流管路上并与所述错流式微型过滤器的回水口连通。一旦回水口流出的水发生意外反流

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116375124 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310271849.1 (22)申请日 2023.03.20 (71)申请人 世源科技工程有限

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