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- 2023-06-28 发布于四川
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一种滤波器及其形成方法、电子设备,谐振器中的封装层,位于所述第一连接层上,所述封装层、密封层以及衬底形成第一空腔,保护层覆盖所述密封层和封装层交界面,以及密封层和衬底交界面,保护层能够加强密封层和封装层之间,以及密封层和衬底之间的结合力,使得在高温度、高湿度的环境中,密封层和衬底之间,以及密封层和封装层之间不易出现分层,此外,即使密封层和衬底之间,以及密封层和封装层之间出现分层,保护层能够阻挡外部的水汽穿过所述密封层和衬底之间的间隙进入滤波器的第一空腔内部,避免器件结构发生氧化和腐蚀,有利于提高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116346079 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202111594488.1
(22)申请日 2021.12.23
(71)申请人 中芯集成电路(宁波)有限公司
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