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一种晶圆抛光装置.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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一种晶圆抛光装置.pdf

    本发明公开了一种晶圆抛光装置，包括第二压力介质腔体，用于感应压力变化；多孔盘，带有多个通孔，下表面包覆柔性单腔膜；导通阀单元，用于第二压力介质腔体和第三压力介质腔体之间的导通或隔离，其至少包括导通阀座，导通阀，及弹性件，导通阀座下端伸入通孔内，导通阀的下端突出于导通阀座的下端面；导通阀座与多孔盘由柔性单腔膜覆盖配合形成第三压力介质腔体；第一压力介质腔体；于第三压力介质腔体形成负压，使得多孔盘和柔性单腔膜上吸附有晶圆时，导通阀克服弹性件的力相对导通阀座发生移动，将第二压力介质腔体和第三压力介质腔体

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113649945 B (45)授权公告日 2022.04.15 (21)申请号 202111218264.0 B24B 37/005 (2012.01) (22)申请日

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