一种激光维持等离子体宽带光源及应用.pdfVIP

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2023-06-29 发布于四川
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一种激光维持等离子体宽带光源及应用.pdf

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本发明属于光源技术领域，公开了一种激光维持等离子体宽带光源及应用，包括腔体、工作气体、充放气装置、入射窗口、出射窗口、两个激光器、透镜、平面镜、反射面和循环水冷；腔体内填充有高压工作气体，腔体左侧通过连接管路与充放气装置连接，腔体外侧开设有入射窗口和出射窗口，腔体内部包含一个反射面；所述腔体周围设置有循环水冷结构。本发明完全避免电极对激光维持等离子体发光特性的影响，避免密封灯泡不方便气体组分和压强控制以及冷却问题不容易解决的弊端，将气体容器和等离子体光收集装置结合，简化激光维持等离子体光源整体装

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113690126 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202110955656.9 (22)申请日 2021.08.19 (71)申请人华中科技大学地址