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一种硅棒加工方法.pdfVIP

一种硅棒加工方法.pdf

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    本发明实施例提供一种硅棒加工方法，该方法包括：沿金刚线在所述硅棒上的投影区域加工形成防滑结构，所述防滑结构用于对所述金刚线约束限位；控制所述金刚线从所述防滑结构部位沿预设进给方向切割以去掉边皮。本发明实施例的防滑结构可以对具有挠性的金刚线起到约束限位作用，防止切割过程金刚线在硅棒表面的摆动，使得金刚线的进给运动更稳定，有助于提升硅棒侧面切割后的表面各处的一致性，可以减小加工极差，节省后续抛光打磨工序，可以简化加工工序，减少加工时长，提升加工效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113681736 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202110872549.X B24B 47/20 (2006.01)

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